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更新時間：2023-03-16
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KT-1650PVD小型濺射儀使用指南
1、 所需配套設備：小型濺射儀，水冷機，真空泵，高純氬氣
2、 配套設備安裝準備工作
水冷機： （此設備為選配配件）本公司配備水冷機型號 JZ-3000.進出水口接 口為 6mm 快插接頭，配套 6 米透明 PU 管，外徑 6mm 內(nèi)徑 4mm 加水 6 升。建 議加入純水、去離子水，如沒有條件加入自來水也可。
若自行準備水冷機，請匹配合適接頭
安裝方法：將設備背面進出水口連接設備背面進水口，公司標配 6m 透明 PU 管， 可根據(jù)現(xiàn)場實際情況進行裁剪。（設備背面接口無進出水口之分，可任意接）
真空泵：（此設備為選配配件）本公司所配備的是 8m3/h（2.2L/s），KF25 標準接口，及 1200mm 長波紋管。
若自行配備真空泵，請匹配合適大小接頭及波紋管
安裝步驟
把加油口打開，并將隨貨的一壺油全部倒入加油口（油量會超過最高刻度，屬正 常現(xiàn)象），將出氣口打開，可根據(jù)現(xiàn)場實際情況自行安裝油霧過濾器或者出氣管道排到室外 或者通風櫥。注：出氣口需保持暢通狀態(tài)，不可堵塞 進氣口連接波紋管，與濺射儀左側(cè)真空擋板閥連接。
高純氬氣：小型濺射儀工作中需要用到高純氬氣，所以需要自行準備高純 氬氣。本公司配備的管道為外徑 6mm 內(nèi)徑 4mm 聚四氟管道，請匹配合適的減 壓閥及進氣接頭。設備進氣壓力為不大于 0.1MPa。
設備安裝及準備工作：
將白色聚四氟管道如上圖安裝至設備背面進氣口，并用扳手鎖緊
配件安裝：
靶材：直徑 2 英寸，厚度 0.3mm-3mm
靶材的安裝：
先分別取下屏蔽罩、靶材壓環(huán)、靶材，將需要的靶材和靶材壓環(huán)緊緊貼住， 用 3 顆螺絲錯開鎖緊壓環(huán)，擰上屏蔽罩。屏蔽罩距離靶材壓環(huán)距離 3mm 左右，
不可將屏蔽罩與靶材壓環(huán)接觸，以免造成設備短路
安裝基底：
分別取下玻璃罩和樣品臺，將襯底固定到樣品臺上，固定好的樣品水平放置在基底座上面，并且三個齒輪要相互咬合，最后放好玻璃罩，蓋好上蓋。
使用前檢查：
1、檢查水箱里面是否有水打開冷水機電源，檢查水冷接口是否連接好，觀察有沒有漏水的現(xiàn)象 （正常情況不漏水一個月檢查一次）
2、真空泵的油箱值是否在 min 和 max 之間（油有沒有發(fā)黃，發(fā)黃說明油有雜質(zhì)需要剛換），
3、氬氣壓力值是否在 0.1MPa 以下，
4、打開濺射儀電源，點擊擋板打開按鍵，觀察腔體內(nèi)樣品臺是否旋轉(zhuǎn)順暢，如有卡頓及時按下?lián)醢鍙臀话存I。
濺射流程： 濺射操作前一定要打開水冷
順時針關(guān)閉氣體調(diào)節(jié)閥和放氣閥，旋轉(zhuǎn)真空泵手柄至最大值，打開真空泵開關(guān)，視線關(guān)注觸摸屏上的真空度是否有變化，如果無變化，將手往下壓住腔體密 封上蓋（不要用力過大），再查看真空度直到下降至 2Pa 以下，旋鈕氣體調(diào)節(jié)閥 到穩(wěn)定到 4Pa 左右，并保持 5 分鐘使腔體內(nèi)部充滿氬氣，開始濺射。
手動模式：設置樣品臺轉(zhuǎn)速在 0-8r/min，若不需要旋轉(zhuǎn)可設置為 0，點擊擋板復位按鈕，使擋板遮擋基底。設置濺射電流，時間需要自己計時，濺射完成后，點擊停止運行，并點擊擋板停止旋轉(zhuǎn)（此時不需要擋板復位）。如果想自己探索
濺射速率，及時記下濺射電流、電壓、功率和時間。
自動模式：預濺射 1：清除靶材上的雜質(zhì)。預濺射 2：升溫，穩(wěn)定電流 設置預濺射時間和電流（T1 和 T2），然后設置沉積的時間和電流（T3）
濺射電流根據(jù)靶材不同設置電流不同，觀察濺射電壓和濺射功率的值，濺射 電壓通常在 315V 以上，最好濺射效果在 330V-340V 范圍內(nèi)。（若電壓上不去，
可將靶材拆下，用細砂紙打磨靶材背面和濺射靶材座，使他們良好接觸（時間長
會氧化））
界面操作完成后，先關(guān)閉氣體調(diào)節(jié)閥和真空泵手柄，再逆時針旋轉(zhuǎn)放氣閥，平衡內(nèi)外氣壓，打開玻璃罩上蓋，取出樣品臺，拿下樣品。關(guān)閉水源、真空泵、濺射儀，最后關(guān)閉電源總開關(guān)。
當前位置：
